
ASML(ASML)目前已躍升為歐洲市值最高的科技公司,這歸功於其在曝光機(lithography systems)製造領域的絕對統治地位。這類被稱為「晶片印表機」的巨型設備每台造價高達2.5億美元,對於推動人工智慧(AI)繁榮的科技公司來說至關重要。ASML(ASML)壟斷了極紫外光(EUV)曝光機的市場,這是製造最先進半導體不可或缺的設備。隨著AI技術的快速進步及全球資料中心的大規模建置,市場對先進晶片的需求激增,這也使得為輝達(NVDA)代工的台積電(TSM)及其他AI晶片製造商,成為ASML(ASML)最重要的業務來源。
結合雷射與磁浮技術的150噸校車級巨獸
這些EUV曝光機體型龐大,大小相當於一輛校車,重量達150噸。機器內部運作極為精密,利用雷射、反射鏡和磁鐵組成的複雜系統,將微細電路「寫入」晶片生產所需的矽晶圓上。這些設備能以無與倫比的精確度,將光圖案投射到矽晶圓上,每片晶圓可能包含上百顆AI晶片。EUV光的波長僅為13奈米,相比之下,人類頭髮的厚度約為8萬到10萬奈米。比利時微電子研究中心(IMEC)執行長Luc Van den Hove指出,這些與ASML(ASML)共同開發的技術提供了先進晶片製造,特別是AI晶片所依賴的「圖案化精度、可擴展性和能源效率」。
德國頂尖光學工藝打造每秒5萬次雷射轟擊
為了產生極紫外光(EUV),機器內部需要進行極端物理操作。德國工業大廠Trumpf製造的雷射系統,是目前世界上最強大的雷射之一,以每秒5萬次的頻率轟擊錫滴。隨後,由德國光學系統製造商蔡司(Zeiss)製造的一套反射鏡系統負責引導光線進入機器核心。這些反射鏡置於真空環境中,其表面比太空望遠鏡使用的鏡面還要平滑。而在晶圓承載台部分,則採用磁浮技術,能以每秒70到80公尺的速度進行加速和減速移動,確保製程的高效運作。
動用波音747專機運送至台積電與三星等大廠
ASML(ASML)的EUV曝光機在荷蘭組裝完成後,物流過程同樣浩大。每台機器需拆解裝入約40個貨櫃,並動用波音747貨機運送至全球各地的晶圓廠。主要的接收客戶包括為輝達(NVDA)生產晶片的台灣台積電(TSM),以及韓國的三星電子和SK海力士、美國的Intel(INTC)與Micron(MU),還有日本的Rapidus。根據統計,ASML(ASML)去年共出貨了44台此類系統,分析師預測,隨著半導體製程演進,市場在2026年和2027年將需要更大幅度的設備增長。
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