中國近期要求晶片製造商在擴充產能時，至少使用50%本地製造的設備，這一措施旨在建立自給自足的半導體供應鏈。根據路透報導，這項規定雖未公開文件化，但近幾個月來，尋求政府批准設立或擴展工廠的晶片製造商被要求透過採購招標證明，至少一半的設備將使用中國製造。此舉是在美國於2023年收緊技術出口限制後，中國加速減少對外國技術依賴的重大措施之一。

美國出口限制推動中國轉向本地供應商

美國的出口限制阻止了一些最先進工具的銷售，但50%的本地設備規定促使中國製造商即使在美國、日本、韓國和歐洲的外國設備仍可用的情況下，選擇本地供應商。未達標的申請通常會被拒絕，但當局會根據供應限制提供一定的靈活性。對於先進晶片生產線，當地開發設備尚未完全可用時，要求會放寬。

中國全力推動自給自足的半導體供應鏈

中國國家主席習近平呼籲全國共同努力，建立一個完全自給自足的本地半導體供應鏈。路透早前報導，中國科學家正在研發一種能夠製造先進晶片的機器原型，而這正是美國試圖阻止的結果。過去，中國的半導體製造國際有限公司(SMCI)等本地晶圓廠更偏好使用美國設備，且不太給中國企業機會，但自2023年美國出口限制開始，中國晶圓廠別無選擇，只能與本地供應商合作。

中國加速本地設備開發，Naura成為關鍵角色

中國國有實體今年為本地光刻機及零件下單創下紀錄，共計421筆訂單，價值約8.5億元人民幣。為支援本地晶片供應鏈，中國透過「大基金」向半導體領域投入數千億元人民幣，並於2024年設立第三期，資本額3440億元人民幣（約490億美元）。這一政策已在蝕刻等關鍵晶片製造步驟上取得成果。中國最大的晶片設備集團Naura正在中芯國際的先進7奈米生產線上測試其蝕刻工具，顯示本地供應商的快速進步。

Naura加速本地蝕刻工具發展，逐步取代外國供應商

Naura的蝕刻結果因政府要求晶圓廠使用至少50%本地設備而加速發展，迫使公司迅速改進。過去，中國的高階蝕刻工具主要由Lam Research(LRCX)和東京電子等外國公司供應，但現在逐步被Naura及較小的競爭對手先進微製造設備公司取代。Naura還為中國記憶體晶片製造商提供蝕刻工具，用於生產超過300層的先進晶片。該公司開發了靜電卡盤，以替代2023年限制後Lam Research無法服務的磨損部件。

中國在光阻去除和清洗設備領域達到約50%的自給率

分析師估計，中國在光阻去除和清洗設備領域已達到約50%的自給率，這一市場曾由日本公司主導，但現在由Naura領先。這些進展顯示出中國在半導體製造設備自給自足方面的努力和成效。

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